豊通レアアース株式会社

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集積回路 (IC/LSI)の製造に使用されるシリコンウエハーは、１２”ウェハーの本格的な量産化時代を迎え、需要の伸びには目ざましいものがあります。
また、青色発光ダイオード用サファイア基板は将来の照明用光源に期待され、飛躍的な発展が見込まれております。

半導体用シリコン材料

単結晶シリコンインゴット、（ＣＺ法、ＭＣＺ法、ＦＺ法）単結晶シリコンウェハー、φ 4”, 5”, 6”, 8”, 12”、エピタキシャルウェハー、ＳＯＩウェハー、拡散ウェハー、テスト・モニター用ウェハー

シリコンウェハー加工

リクレーム、バックラップ、ダイシング

各種薄膜成膜加工

Si02, TEOS, Si3N4,Poly-Si, Al, Cu, BPSG, Low-k等、パターンニング加工

太陽電池用シリコン材料

多結晶・単結晶インゴット、多結晶・単結晶シリコンウエハー

LD、LED用サファイア基板単結晶

サファイアインゴット、CZ法、キロプロス法、ベルヌーイ法、φ2”, 3”, 4”、C, M, A, R面対応

単結晶ウェハー

GaAs、GaP、InP

エピタキシャルウェハー

GaAsLPE、MOCVD