電子部品（スパッタリングターゲット）｜取扱商品｜豊通レアアース

トップページ
> 取扱商品
> 電子部品（スパッタリングターゲット）

スパッタリングターゲット材は半導体を始め、LCDディスプレイ、磁気記録用ディスク、センサ－、超伝導などの各分野で使用されています。

酸化物: Ta2O5、Al2O3、SnO2、In2O3、WO3、SiO2、SiO

複合化合物: ITO、Y2O3-ZrO2

アロイ: IT、AT、Co-Cr、Ni-Cr、Cr-Si

メタル: W、Mo、Ta、Nb、V、Ti、Si、Cr、Ni、Co、Fe、Ge、Ag、Pt

金属間化合物: TiSix、WSix、TaSix、MoSix、Si3N4、SiC、AIN、TaN、Tb-Fe、ZnSe、ZnS-Mn

超伝導基板: SrTiO3、LaAIO3、LaGaO3、MgO、Y:ZrO2、NdGaO3、LSAT